切断機ラインナップ

• 特長・寸法図
• 対応ワーク
• 構造特長
• 標準仕様

2本のスピンドルを搭載。
寸法の異なるマルチブレードで長方形ダイシングを可能に

特　長

対応ワーク

■ 最大ワークサイズ：250mm×250mm

形 状

対応
製品

・セラミックコンデンサー
・光学ガラス

種 類

構造特長

標準仕様

2本スピンドルスライシングマシン

DLS-3225

チャックテーブル寸法		(mm)	400x400
Ｘ 軸	切断有効ストローク 最小割り出し設定単位 送り速度 軸駆動方式 駆動源 軸制御方式	(mm) (mm) (mm/sec)	400 0.001 0〜150 モータ軸で精密ボールネジを回転し駆動 ＡＣサーボモータ サーボコントローラによるセミクローズドループ制御
Ｙ 軸	切断有効ストローク 最小割り出し設定単位 送り速度 軸駆動方式 駆動源 軸制御方式	(mm) (mm) (mm/sec)	400 0.001 0〜50 モータ軸で精密ボールネジを回転し駆動 ＡＣサーボモータ サーボコントローラによるフルクローズドループ制御
Ｚ 軸	切断有効ストローク 最小割り出し設定単位 送り速度 軸駆動方式 駆動源 軸制御方式	(mm) (mm) (mm/sec)	40 0.001 0〜50 モータ軸より減速機を介して精密ボールネジを回転し駆動 ＡＣサーボモータ サーボコントローラによるセミクローズドループ制御
θ軸	回転範囲 最小分解能 駆動源	(°)	１１０ 360°/4096000パルス ダイレクトドライブモータ
ワークチャックテーブル部	チャックテーブル形式 対応ワークサイズ（サブストレートサイズ） 真空源	(mm)	サブストレート用吸着穴式真空吸着 350×350 エジェクター式真空発生器
スピンドル部	形式 使用回転数範囲 回転制御方式 駆動モータ仕様 使用砥石寸法	(rpm) (kw) (kw) (mm)	ベルトドライブ方式セラミック玉軸受スピンドル 3,000～8,000 5.5　インバータによる周波数変換無段変速式 3.7　低振動モータ ODφ70×IDφ40
アライメント顕微鏡部	顕微鏡仕様 顕微鏡倍率 液晶モニター モニター上総合倍率 モニター画面上実視野	(mm)	斜光照明式顕微鏡 2倍 15”タッチパネル 約127倍 1.87×1.75
操作	操作パネル パネル以外の機能		機械各部の起動スイッチ、選択スイッチ、切替スイッチ、状態表示機能データ入力、画像表示 制御電源　ON/OFFスイッチ、安全解除スイッチ、手動パルサーハンドル
表示部			３色表示灯
電装部	Ｘ，Ｙ，Ｚ軸 θ軸 装置全体		サーボコントローラによる制御 DDモータ パソコン制御
搬送部	カセット方式 駆動源 リバ－シブルモ－タ		回転式ベルトカセット 収納枚数 ローダ側9枚、アンローダ側9枚
精度	Ｘ軸真直度 垂直面内 チャックテーブル上面精度 Ｙ軸割り出し精度 位置決め Ｚ軸繰り返し精度 砥石軸の回転精度 　・ラジアル方向振れ 　・スラスト方向振れ	(mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm)	水平面内　0.01／500 0.01／500 0.02（350ｘ350） 繰返し　0.005 0.01／250 0.005 0.002以下 0.002以下
諸元	電源　　供給電源 　　　　消費電力 　　　　電源ノイズ 　　　　アース 空気源　供給圧力 　　　　消費流量 　　　　露点 　　　　残留油分 　　　　接続口 切削水　供給圧力 　　　　流量 　　　　接続口	(kVA) (MPa・G) (l/min) (PPM Wt/Wt) (MPa・G) (l/min)	三相ＡＣ200Ｖ±10％以内　50／60Hz 12kVA パルス幅500ns（方形波）で2000V以下 接地間抵抗JIS第３種100Ω以下  0.5～0.55（約5.0～5.5kgf/cm2・G） 300（A.N.R)）（含 VCチャック2系統分） －15℃以下 0.1 Rc（PT）3／8”メネジ／又は、外径10ウレタンチューブ用継手  0.15～0.3（約1.5～3kgf/cm2・G） 30（MAX） Rc（PT）3／8”メネジ（供給・排出共）／又は、15×22ブレードホース用継手
主要寸法	本体（含搬送部） 電装ボックス	(mm) (mm)	（W）2650x（D）1970x（H）1970 （W）900x（D）450x（H）1170
重量	本体部 搬送部 電装ボックス	(kg) (kg) (kg)	2800 240 300

※本仕様は改良のため、お断りなく変更させていただくことがございます。
※本機に対するアプリケーション等は弊社営業までお問い合わせください。

まずはご相談ください

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