切断機ラインナップ

• 特長・寸法図
• 対応ワーク
• 構造特長
• 標準仕様

ガラス、金属、セラミックなどの厚物材料を高精度に安定して切断。
セットから切断、洗浄まで、作業工程をフルオートメーション化

特　長

対応ワーク

■ ワークの最大厚み：15mm

形 状

対応
製品

・セラミックスパッケージ基板
・フォトマスク

種 類

※厚物ワークの高精度
切断に最適

構造特長

標準仕様

フルオートマチックスライサー

DFS1100

全般	加工物最大径 フレームタイプ カセットタイプ 2-8-1用、最大25スロット	(mm)	φ200 2-8-1 2-8-1用、最大25スロット
Ｘ 軸	ワーククランプ方式 ストローク 移動量指令単位 最大送り速度 速度指令単位 軸駆動方式 駆動源	(mm) (mm) (mm/sec) (mm/s)	バキュームチャック 640 0.001 200 0.01 モータ軸でボールネジを回転し駆動 ACサーボモータ
Ｙ 軸	ストローク 移動量指令単位 最大送り速度 速度指令単位 軸駆動方式 駆動源 軸制御方式	(mm) (mm) (mm/sec) (mm/sec)	200 0.001 50 0.001 モータ軸で精密ボールネジを回転し駆動 ACサーボモータ マグネスケールによるクローズドループ制御
Ｚ 軸	ストローク 移動量指令単位 最大送り速度 速度指令単位 軸駆動方式 駆動源	(mm) (mm) (mm/sec) (mm/sec)	85 0.001 20 0.001 モータ軸で精密ボールネジを回転し駆動 ACサーボモータ
W 軸	ストローク 移動量指令単位 最大送り速度 速度指令単位 軸駆動方式 駆動源	(°) (°) (°/s) (°/s)	110（-10～+100） 0.001 90 0.001 ダイレクトドライブモータで直に回転駆動 ダイレクトドライブモータ
スピンドル	形式 使用回転数範囲 回転数制御方式 駆動モータ仕様 スピンドル先端寸法 インターロック	(min-1) (kw)	モーター内臓エアースピンドル 10,000～15,000 インバータによる周波数変換無段変速式 3.7 2P 口元部径φ36,テーパー1/10 1.スピンドル部の防水カバー開で回転停止 2.カバー開状態ではスピンドル回転不可
アライメント	形式 ミクロ：セルサイズ 　　　　視野 マクロ：セルサイズ 　　　　視野 ワークディスタンス 照明	(μm) (mm) (μm) (mm) (mm)	ミクロ・マクロ切替式 2.1（左右）×2.45（前後） 1.58（左右）×1.19（前後） 16.8（左右）×19.6（前後） 12.6（左右）×9.51（前後） 150 ＬＥＤ光源による同軸照明
搬送部	対応カセット 搭載カセット数 戻り方式 カセット交換方式		DTC2-8Jまたは準ずるもの 2セット 同一スロットへの戻し 任意割り込みによる停止式 （カセットエレベータ作動中は割り込み不可）
洗浄部	洗浄方式 テーブル回転数 ワーククランプ方式 回転数・時間指令	(min-1)	2流体式 ～3,000 バキュームおよび振り子による フレームクランプ プログラムによる任意設定
セットアップ	検出方式 設置位置		ファイバーセンサによる光学式 X軸スライダ上
ブレード破損検出装置	検出方式 設置位置		ファイバーセンサによる光学式 ブレードカバー内
オートドレス	ドレッサーサイズ 指令方式	(mm)	155（長さ）×50（幅）×10（厚み） プログラム式
精度	１．チャックテープル上面精度 ２．X軸真直度 ３．Ｙ軸割り出し位置決め精度 ４．Z軸割り出し位置決め精度 ５．スピンドル回転精度	(mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm)	水平面内 垂直面内 累積誤差 繰り返し誤差 累積誤差 繰り返し誤差 ラジアル方向振れ	0.02/200×200 0.01/300 0.01/300 ±0.005/200 ±0.002 ±0.005/85 ±0.002 0.002

※本仕様は改良のため、お断りなく変更させていただくことがございます。
※本機に対するアプリケーション等は弊社営業までお問い合わせください。

まずはご相談ください

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