高精度切断機の専門メーカー

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切断機ラインナップ

2本スピンドルスライシングマシンDLS-3225

2本のスピンドルを搭載。
寸法の異なるマルチブレードで長方形ダイシングを可能に

特 長

  • 1. 2本のスピンドル搭載!
  • 2. ブレード厚さ100μm台の
    マルチブレードにて、切断が可能
  • 3. 飛躍的に生産性アップした同シリーズ
    スケールアップモデルDLS3240も!
DLS-3225

対応ワーク

最大ワークサイズ:250mm×250mm

形 状
薄手
対応
製品
・セラミックコンデンサー
・光学ガラス
種 類
コンデンサ/電子部品/生セラミックス

構造特長

2本のスピンドル

2本のスピンドル

大判の長方形切断もOK!

CH-1、CH-2切断用にピッチ寸法の異なるマルチブレードを使用可能。正方形だけでなく、長方形のダイシングも実現可能。

スケールアップモデル[DLS-3240]

スケールアップモデル[DLS-3240]

最大400×400の
ワークもOK!

400×400mmのチャックテーブルは、生産性を飛躍的に向上。

標準仕様

2本スピンドルスライシングマシン

DLS-3225

チャックテーブル寸法 (mm) 400x400
X 軸 切断有効ストローク
最小割り出し設定単位
送り速度
軸駆動方式
駆動源
軸制御方式
(mm)
(mm)
(mm/sec)
400
0.001
0〜150
モータ軸で精密ボールネジを回転し駆動
ACサーボモータ
サーボコントローラによるセミクローズドループ制御
Y 軸 切断有効ストローク
最小割り出し設定単位
送り速度
軸駆動方式
駆動源
軸制御方式
(mm)
(mm)
(mm/sec)
400
0.001
0〜50
モータ軸で精密ボールネジを回転し駆動
ACサーボモータ
サーボコントローラによるフルクローズドループ制御
Z 軸 切断有効ストローク
最小割り出し設定単位
送り速度
軸駆動方式

駆動源
軸制御方式
(mm)
(mm)
(mm/sec)
40
0.001
0〜50
モータ軸より減速機を介して精密ボールネジを回転し駆動
ACサーボモータ
サーボコントローラによるセミクローズドループ制御
θ軸 回転範囲
最小分解能
駆動源
(°) 110
360°/4096000パルス
ダイレクトドライブモータ
ワークチャックテーブル部 チャックテーブル形式
対応ワークサイズ(サブストレートサイズ)
真空源

(mm)
サブストレート用吸着穴式真空吸着
350×350

エジェクター式真空発生器
スピンドル部 形式
使用回転数範囲
回転制御方式
駆動モータ仕様
使用砥石寸法

(rpm)
(kw)
(kw)
(mm)
ベルトドライブ方式セラミック玉軸受スピンドル
3,000~8,000
5.5 インバータによる周波数変換無段変速式
3.7 低振動モータ
ODφ70×IDφ40
アライメント顕微鏡部 顕微鏡仕様
顕微鏡倍率
液晶モニター
モニター上総合倍率
モニター画面上実視野




(mm)
斜光照明式顕微鏡
2倍
15”タッチパネル
約127倍
1.87×1.75
操作 操作パネル

パネル以外の機能
  機械各部の起動スイッチ、選択スイッチ、切替スイッチ、状態表示機能データ入力、画像表示
制御電源 ON/OFFスイッチ、安全解除スイッチ、手動パルサーハンドル
表示部     3色表示灯
電装部 X,Y,Z軸
θ軸
装置全体
  サーボコントローラによる制御
DDモータ
パソコン制御 
搬送部 カセット方式
駆動源
リバ-シブルモ-タ
  回転式ベルトカセット
収納枚数
ローダ側9枚、アンローダ側9枚
精度 X軸真直度
垂直面内
チャックテーブル上面精度
Y軸割り出し精度
位置決め
Z軸繰り返し精度
砥石軸の回転精度
 ・ラジアル方向振れ
 ・スラスト方向振れ
(mm)
(mm)
(mm)
(mm)
(mm)
(mm)

(mm)
(mm)
水平面内 0.01/500
0.01/500
0.02(350x350)
繰返し 0.005
0.01/250
0.005

0.002以下
0.002以下
諸元 電源  供給電源
    消費電力
    電源ノイズ
    アース
空気源 供給圧力
    消費流量
    露点
    残留油分

    接続口

切削水 供給圧力
    流量
    接続口

(kVA)


(MPa・G)
(l/min)

(PPM Wt/Wt)


(MPa・G)
(l/min)
三相AC200V±10%以内 50/60Hz
12kVA
パルス幅500ns(方形波)で2000V以下
接地間抵抗JIS第3種100Ω以下 
0.5~0.55(約5.0~5.5kgf/cm2・G)
300(A.N.R))(含 VCチャック2系統分)
-15℃以下
0.1

Rc(PT)3/8”メネジ/又は、外径10ウレタンチューブ用継手 
0.15~0.3(約1.5~3kgf/cm2・G)
30(MAX)
Rc(PT)3/8”メネジ(供給・排出共)/又は、15×22ブレードホース用継手
主要寸法 本体(含搬送部)
電装ボックス
(mm)
(mm)
(W)2650x(D)1970x(H)1970
(W)900x(D)450x(H)1170
重量 本体部
搬送部
電装ボックス
(kg)
(kg)
(kg)
2800
240
300

※本仕様は改良のため、お断りなく変更させていただくことがございます。
※本機に対するアプリケーション等は弊社営業までお問い合わせください。

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