高精度切断機の専門メーカー

株式会社ワイエイシイダステック

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切断機ラインナップ

フルオートマチックスライサーDFS1100

ガラス、金属、セラミックなどの厚物材料を高精度に安定して切断。
セットから切断、洗浄まで、作業工程をフルオートメーション化

特 長

  • 1. 直径4インチブレードを採用
  • 2. 高出力モーター内蔵のエアースピンドルを装備
  • 3. 複合材の切断も可能!
  • 4. 高剛性と堅牢な鋳鉄ベースボディ
  • 5. シングルからマルチブレードまで搭載可
DFS1100

対応ワーク

ワークの最大厚み:15mm

形 状
厚物
対応
製品
・セラミックスパッケージ基板
・フォトマスク
種 類
サファイアデバイス/各種ガラス/セラミックス/CSP/QFP/QFN/金属素材
※厚物ワークの高精度
切断に最適

構造特長

カセットを収納するローダー

カセットを収納するローダー

アンローダーと、各ユニットにウェーハを搬送するロボットアーム

アンローダーと、各ユニットにウェーハを搬送するロボットアーム

ホィールカバーと、Blade破損検出器

ホィールカバーと、Blade破損検出器

チャックテーブルとドレス用サブテーブルと非接触式セットアップセンサー

チャックテーブルとドレス用サブテーブルと非接触式セットアップセンサー

加工後にウェーハを洗浄するスピナー洗浄器

加工後にウェーハを洗浄するスピナー洗浄器

タッチパネル式のオペレーションパネル。多彩なオートアライメント機能

タッチパネル式のオペレーションパネル。多彩なオートアライメント機能

高アスペクト比で切断可能!

高アスペクト比で切断可能!

DFS1100を使って、4mmtのソーダガラスを4mmに切断。
切断面の直角度は10μm以下、カーフが蛇行することなく真っすぐに切れています。
高アスペクト比ながら、砥石が曲がることなく垂直にガラスに切り込まれています

標準仕様

フルオートマチックスライサー

DFS1100

全般 加工物最大径
フレームタイプ
カセットタイプ 2-8-1用、最大25スロット
(mm) φ200
2-8-1
2-8-1用、最大25スロット
X 軸 ワーククランプ方式
ストローク
移動量指令単位
最大送り速度
速度指令単位
軸駆動方式
駆動源

(mm)
(mm)
(mm/sec)
(mm/s)
バキュームチャック
640
0.001
200
0.01
モータ軸でボールネジを回転し駆動
ACサーボモータ
Y 軸 ストローク
移動量指令単位
最大送り速度
速度指令単位
軸駆動方式
駆動源
軸制御方式
(mm)
(mm)
(mm/sec)
(mm/sec)
200
0.001
50
0.001
モータ軸で精密ボールネジを回転し駆動
ACサーボモータ
マグネスケールによるクローズドループ制御
Z 軸 ストローク
移動量指令単位
最大送り速度
速度指令単位
軸駆動方式
駆動源
(mm)
(mm)
(mm/sec)
(mm/sec)
85
0.001
20
0.001
モータ軸で精密ボールネジを回転し駆動
ACサーボモータ
W 軸 ストローク
移動量指令単位
最大送り速度
速度指令単位
軸駆動方式
駆動源
(°)
(°)
(°/s)
(°/s)
110(-10~+100)
0.001
90
0.001
ダイレクトドライブモータで直に回転駆動
ダイレクトドライブモータ
スピンドル 形式
使用回転数範囲
回転数制御方式
駆動モータ仕様
スピンドル先端寸法
インターロック

(min-1)

(kw)
モーター内臓エアースピンドル
10,000~15,000
インバータによる周波数変換無段変速式
3.7 2P
口元部径φ36,テーパー1/10
1.スピンドル部の防水カバー開で回転停止
2.カバー開状態ではスピンドル回転不可
アライメント 形式
ミクロ:セルサイズ
    視野
マクロ:セルサイズ
    視野
ワークディスタンス
照明

(μm)
(mm)
(μm)
(mm)
(mm)
ミクロ・マクロ切替式
2.1(左右)×2.45(前後)
1.58(左右)×1.19(前後)
16.8(左右)×19.6(前後)
12.6(左右)×9.51(前後)
150
LED光源による同軸照明
搬送部 対応カセット
搭載カセット数
戻り方式
カセット交換方式
  DTC2-8Jまたは準ずるもの
2セット
同一スロットへの戻し
任意割り込みによる停止式
(カセットエレベータ作動中は割り込み不可)
洗浄部 洗浄方式
テーブル回転数
ワーククランプ方式

回転数・時間指令

(min-1)
2流体式
~3,000
バキュームおよび振り子による
フレームクランプ
プログラムによる任意設定
セットアップ 検出方式
設置位置
  ファイバーセンサによる光学式
X軸スライダ上
ブレード破損検出装置 検出方式
設置位置
  ファイバーセンサによる光学式
ブレードカバー内
オートドレス ドレッサーサイズ
指令方式
(mm) 155(長さ)×50(幅)×10(厚み)
プログラム式
精度 1.チャックテープル上面精度
2.X軸真直度

3.Y軸割り出し位置決め精度

4.Z軸割り出し位置決め精度

5.スピンドル回転精度
(mm)
(mm)
(mm)
(mm)
(mm)
(mm)
(mm)
(mm)

水平面内
垂直面内
累積誤差
繰り返し誤差
累積誤差
繰り返し誤差
ラジアル方向振れ
0.02/200×200
0.01/300
0.01/300
±0.005/200
±0.002
±0.005/85
±0.002
0.002

※本仕様は改良のため、お断りなく変更させていただくことがございます。
※本機に対するアプリケーション等は弊社営業までお問い合わせください。

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